工作原理：
真空变压吸附空分制氧，是采用优质沸石分子筛吸附氮气，未被吸附的氧气在塔顶聚集并做为 产品气输送至氧气贮罐。当处于吸附状态的吸附塔临近饱和之前，该塔自动减压解吸再生， 而另一只吸附塔开始加压吸附制取氧气。两只吸附塔交替工作，完成制氧的工艺过程。吸附塔解吸再生时，采用负压，称为VPSA制氧。
装置工艺：
变压吸附空分制氧装置的吸附床必须包含两个操作步骤：吸附和解吸。为了连续获得产品气，通常在制氧装置中都装置两个以上的吸附床，并且从能耗和稳定性的角度出发，另外设置一些必要的辅助步骤。每个吸附床一般都要经历吸附、放压、抽空或减压再生、冲洗置换和均压升压等步骤，周期性地重复操作。在同一时间，各个吸附床则分别处于不同的操作步骤，在PLC的控制下定时切换，使几个吸附床协调操作，在时间步伐上则相互错开，使变压吸附装置能够平稳运行，连续获得产品气。对于实际的分离过程，还必须考虑空气中的其它微量组份。二氧化碳和水分在通常的吸附剂上的吸附能力一般要比氮和氧都大的多，可在吸附床内填加合适的吸附剂(或利用制氧吸附剂自身)使其被吸附清除。
技术特点：
1、土建工程量小，装置安装周期比深冷装置短，投资省；
2、制氧电耗更低，能耗低；
3、装置运行和维护费用低；
4、装置运行自动化程度高，开停车方便快捷，操作人员少；
5、装置运行稳定性强，安全性高；
6、操作简单，主要部件均选用国际知名厂家；
7、采用原装进口制氧分子筛，性能优越，使用寿命长。
技术指标：
产品规模:100～10000Nm3/h
氧气压力:0.015～0.05MPa(可调)
氧气纯度:70～95%
